CVD & PECVD Furnace
Слайд PECVD трубчатая печь с жидким газификатором PECVD машина
Артикул : KT-PE12
Цена может варьироваться в зависимости от спецификации и настройки
- Макс. температура
- 1200℃
- Выходная мощность радиочастотной плазмы
- 5-500W
- Номинальное вакуумное давление
- 10Pa~6x10-4Pa
Доставка:
Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Прецизионное осаждение тонких пленок
Трубчатая печь KINTEK Slide PECVD с жидкостным газификатором - это современная система, разработанная для универсального и высокопроизводительного осаждения тонких пленок. Разработанная с учетом жестких требований современных исследований и производства, она сочетает в себе источник радиочастотной плазмы мощностью 500 Вт, инновационную выдвижную печь для быстрого термоциклирования, точный контроль расхода газа и надежную вакуумную станцию. Будь то электроника, полупроводники, оптика или передовое материаловедение, эта система обеспечивает исключительные результаты и надежность. Компания KINTEK использует свой исключительный опыт в области исследований и разработок и собственное производство для создания передовых печей, подобных этой, и предлагает глубокую настройку для точного удовлетворения ваших уникальных экспериментальных требований.
Ключевые особенности и преимущества
Трубчатая печь Slide PECVD с жидкостным газификатором PECVD Machine предлагает множество преимуществ для улучшения ваших исследований и производства:
- Усиленная генерация энергии: Инновационная структура графитовой лодки значительно повышает выходную мощность пластин солнечных элементов.
- Однородное качество ячеек: Эффективно устраняет цветовые различия в трубчатых PECVD-ячейках, обеспечивая стабильные результаты.
- Универсальный источник радиочастотной плазмы: Источник ВЧ-плазмы с автоматическим согласованием и широким диапазоном выходной мощности (5-500 Вт) обеспечивает стабильную и адаптируемую работу в различных областях применения.
- Быстрый термический цикл: Система скольжения камеры печи обеспечивает высокоскоростной нагрев и охлаждение, значительно сокращая время обработки. Вспомогательная принудительная циркуляция воздуха дополнительно ускоряет скорость охлаждения.
- Автоматизированная работа: Опциональная автоматическая система скольжения повышает эффективность и сокращает ручное вмешательство для оптимизации рабочих процессов.
- Точное управление температурой: Программируемый ПИД-регулятор температуры обеспечивает точное регулирование температуры. Поддерживается дистанционное и централизованное управление для большего удобства и эксплуатационной гибкости.
- Точный контроль газа: Высокоточные массовые расходомеры MFC точно контролируют исходные газы, обеспечивая стабильную, постоянную и предварительно смешанную подачу газа.
- Высокопроизводительная вакуумная система: Вакуумный фланец из нержавеющей стали с несколькими переходными отверстиями подходит для различных конфигураций вакуумных насосных станций, обеспечивая высокую степень вакуума и надежное уплотнение.
- Удобный интерфейс: Оснащен 7-дюймовым сенсорным TFT-контроллером CTF Pro, упрощающим настройку программ, эксплуатацию и позволяющим легко анализировать исторические данные.
Универсальное применение
Трубчатая печь Slide PECVD с жидкостным газификатором PECVD Machine идеально подходит для широкого спектра применений, включая:
- Химическое осаждение из паровой фазы (CVD)
- Химическое осаждение из паровой фазы с усилением плазмы (PECVD)
- Осаждение тонких пленок для различных материалов
- Изготовление и исследование солнечных элементов
- Обработка полупроводников
- Исследования и разработки в области нанотехнологий
- Передовые исследования в области материаловедения
- Общие исследования и разработки в контролируемых атмосферах
Изучите конфигурации наших систем
KINTEK предлагает различные конфигурации CVD-систем для удовлетворения различных экспериментальных потребностей. Ниже приведены примеры доступных конфигураций:
Принцип работы
Трубчатая печь Slide PECVD с жидкостным газификатором PECVD Machine использует низкотемпературную плазму для генерации тлеющего разряда в катоде технологической камеры (лотке для образцов). Тлеющий разряд (или другой источник тепла) повышает температуру образца до заданного уровня. Затем вводится контролируемое количество технологического газа, в результате чего химические и плазменные реакции образуют на поверхности образца твердую пленку.
Встроенные преимущества безопасности
- Защита от перегрузки по току и перегрева: Печь оснащена функциями защиты от перегрузки по току и перегрева, автоматически отключающими питание при превышении установленных пределов.
- Обнаружение неисправности термопары: Встроенная функция обнаружения термопары остановит нагрев и подаст сигнал тревоги при обнаружении сломанной или вышедшей из строя термопары, предотвращая неконтролируемый нагрев.
- Функция перезапуска при сбое питания: Контроллер PE Pro поддерживает функцию перезапуска при сбое питания, что позволяет печи автоматически возобновить программу нагрева после восстановления питания после сбоя.
Технические характеристики
| Модель печи | KT-PE12-60 |
| Макс. температура | 1200℃ |
| Постоянная рабочая температура | 1100℃ |
| Материал трубки печи | Высокая чистота кварца |
| Диаметр трубки печи | 60 мм |
| Длина зоны нагрева | 1x450 мм |
| Материал камеры | Японское глиноземное волокно |
| Нагревательный элемент | проволочная спираль из Cr2Al2Mo2 |
| Скорость нагрева | 0-20℃/мин |
| Тепловая пара | Встроенный тип K |
| Контроллер температуры | Цифровой ПИД-регулятор/ПИД-регулятор с сенсорным экраном |
| Точность регулирования температуры | ±1℃ |
| Расстояние скольжения | 600 мм |
| Плазменная установка RF | |
| Выходная мощность | 5 -500 Вт, регулируемая с ± 1% стабильности |
| Частота радиочастот | 13,56 МГц ±0,005% стабильности |
| Мощность отражения | 350 Вт макс. |
| Согласование | Автоматическое |
| Шум | |
| Охлаждение | Воздушное охлаждение. |
| Блок точного контроля газа | |
| Расходомер | Массовый расходомер MFC |
| Газовые каналы | 4 канала |
| Расход |
MFC1: 0-5SCCM O2
MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0- 100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
| Линейность | ±0,5% F.S. |
| Повторяемость | ±0,2% F.S. |
| Трубопровод и клапан | Нержавеющая сталь |
| Максимальное рабочее давление | 0,45 МПа |
| Контроллер расходомера | Цифровой регулятор/контроллер с сенсорным экраном |
| Стандартный вакуумный блок (опция) | |
| Вакуумный насос | Пластинчато-роторный вакуумный насос |
| Расход насоса | 4L/S |
| Вакуумный порт всасывания | KF25 |
| Вакуумметр | Кремниевый вакуумметр Пирани/Резистанс |
| Номинальное вакуумное давление | 10Па |
| Установка высокого вакуума (опция) | |
| Вакуумный насос | Пластинчато-роторный насос+молекулярный насос |
| Расход насоса | 4L/S+110L/S |
| Порт всасывания вакуума | KF25 |
| Вакуумметр | Комбинированный вакуумметр |
| Номинальное вакуумное давление | 6x10-4Pa |
| Вышеуказанные спецификации и настройки могут быть настроены | |
Стандартный комплект поставки
| Нет. | Описание | Количество |
| 1 | Печь | 1 |
| 2 | Кварцевая трубка | 1 |
| 3 | Вакуумный фланец | 2 |
| 4 | Тепловой блок трубки | 2 |
| 5 | Крючок трубчатого термоблока | 1 |
| 6 | Термостойкая перчатка | 1 |
| 7 | Источник радиочастотной плазмы | 1 |
| 8 | Точный контроль газа | 1 |
| 9 | Вакуумный блок | 1 |
| 10 | Руководство по эксплуатации | 1 |
Персонализация и дополнительные установки
Компания KINTEK гордится своими широкими возможностями по индивидуальной настройке. Мы можем изготовить трубчатую печь Slide PECVD в точном соответствии с вашими уникальными экспериментальными требованиями. Доступные дополнительные установки включают:
- Обнаружение и мониторинг газа в трубке (например, H2, O2).
- Независимые системы мониторинга и регистрации температуры в печи
- Порт связи RS 485 для дистанционного управления и экспорта данных с ПК
- Индивидуальный контроль расхода подаваемого газа (массовые или поплавковые расходомеры)
- Современный контроллер температуры с сенсорным экраном и универсальными, удобными для оператора функциями
- Различные установки высоковакуумных насосных станций (например, лопастной вакуумный насос, молекулярный насос, диффузионный насос).
Сотрудничайте с KINTEK для удовлетворения потребностей в передовых печах
Трубчатая печь Slide PECVD от KINTEK разработана для адаптации и высокой производительности. Мы понимаем, что ваши исследования уникальны. Воспользуйтесь нашими мощными возможностями глубокой настройки, чтобы создать эту систему в соответствии с вашими точными спецификациями. Если вам нужны различные температурные диапазоны, конкретные конфигурации газов, расширенные функции управления или уникальные вакуумные установки, наша команда экспертов готова помочь.
Готовы повысить уровень исследований или производства? Обсудите ваши требования с нашими специалистами и получите индивидуальное предложение. Пожалуйста, заполните нашу контактную форму и один из наших специалистов свяжется с вами в ближайшее время, чтобы помочь вам сконфигурировать идеальное решение для PECVD!
FAQ
Что такое трубчатая печь и как она работает?
Каковы основные области применения многозонных трубчатых печей?
В чем заключается принцип работы установки CVD?
Для каких целей обычно используется печь с разъемной трубкой?
Что такое вертикальная трубчатая печь?
Каковы основные области применения трубчатых печей?
Каковы ключевые особенности многозонных трубчатых печей?
В чем преимущества использования CVD-установки?
Каковы ключевые особенности печи с разъемной трубой?
Для каких целей используется вертикальная трубчатая печь?
Каковы преимущества использования трубчатых печей?
Как работает многозонная трубчатая печь?
Для каких целей используется CVD-установка?
Как работает печь с разъемной трубой?
В чем преимущества вертикальных трубчатых печей?
Какие типы трубчатых печей существуют?
Каковы преимущества использования многозонной трубчатой печи?
Каковы основные характеристики установки CVD?
В чем преимущества использования печи с разъемной трубой?
Как работает вертикальная трубчатая печь?
Каких температурных диапазонов могут достигать трубчатые печи?
Какие типы многозонных трубчатых печей существуют?
Какие типы CVD-установок существуют?
Какой температуры может достичь печь с разъемными трубами?
Какие типы вертикальных трубчатых печей доступны?
Могут ли трубчатые печи работать в разных атмосферах?
Почему разъемная конструкция выгодна в трубчатых печах?
Почему стоит выбрать вертикальную трубчатую печь, а не горизонтальную?
Что делает трубчатые печи KINTEK особенными?
Какие температурные диапазоны могут достигать вертикальные трубчатые печи?
Можно ли настроить вертикальные трубчатые печи?
4.9
out of
5
Incredible precision and efficiency! This machine has revolutionized our lab workflow.
4.8
out of
5
Fast delivery and top-notch quality. Worth every penny for advanced research.
4.7
out of
5
The durability is unmatched. A reliable workhorse for high-temperature applications.
4.9
out of
5
Cutting-edge technology with seamless integration. Highly recommended for serious labs.
4.8
out of
5
Exceptional value for money. The liquid gasifier feature is a game-changer.
4.9
out of
5
Superior build quality and performance. Exceeded all our expectations.
4.7
out of
5
Easy to operate and maintain. Perfect for both beginners and experts.
4.8
out of
5
Fast setup and outstanding results. A must-have for any advanced lab.
4.9
out of
5
The technological advancement is mind-blowing. Delivered ahead of schedule!
4.8
out of
5
Robust and reliable. Perfect for continuous high-performance tasks.
4.9
out of
5
Precision engineering at its finest. Our experiments have never been smoother.
4.7
out of
5
Great investment for any lab. The quality speaks for itself.
4.8
out of
5
Innovative design and flawless performance. A standout in its category.
4.9
out of
5
The speed and accuracy are unparalleled. A true technological marvel.
4.7
out of
5
User-friendly and highly efficient. Perfect for complex applications.
4.8
out of
5
Outstanding durability and performance. Delivered faster than expected.
4.9
out of
5
A masterpiece of engineering. The liquid gasifier is a brilliant addition.
4.7
out of
5
Consistent results every time. A reliable partner for advanced research.
4.8
out of
5
Exceptional build and innovative features. A top-tier machine for any lab.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Наклонная вращающаяся машина печи трубки PECVD плазмы усиленного химического осаждения
Установка KINTEK для нанесения покрытий методом PECVD обеспечивает прецизионные тонкие пленки при низких температурах для светодиодов, солнечных батарей и МЭМС. Настраиваемые, высокопроизводительные решения.
Вращающаяся трубчатая печь с несколькими зонами нагрева
Прецизионная ротационная трубчатая печь с несколькими зонами нагрева для высокотемпературной обработки материалов, с регулируемым наклоном, вращением на 360° и настраиваемыми зонами нагрева. Идеально подходит для лабораторий.
Печь с разделенной камерой CVD трубки с вакуумной станцией CVD машины
Трубчатая печь CVD с разделенной камерой и вакуумной станцией - высокоточная лабораторная печь с температурой 1200°C для исследования современных материалов. Доступны индивидуальные решения.
Многозональные трубчатые CVD-печи KINTEK обеспечивают точный контроль температуры для современного осаждения тонких пленок. Идеально подходят для исследований и производства, настраиваются под нужды вашей лаборатории.
Трубчатая CVD-печь KINTEK обеспечивает точный контроль температуры до 1600°C, идеально подходящий для осаждения тонких пленок. Настраивается для исследовательских и промышленных нужд.
Наклонная вращающаяся машина печи трубы PECVD плазмы усиленного химического осаждения
Передовая трубчатая печь PECVD для точного осаждения тонких пленок. Равномерный нагрев, источник ВЧ-плазмы, настраиваемый контроль газа. Идеально подходит для исследований полупроводников.
1700℃ Высокотемпературная лабораторная трубчатая печь с кварцевой или глиноземной трубкой
Трубчатая печь KINTEK с алюминиевой трубкой: Прецизионный нагрев до 1700°C для синтеза материалов, CVD и спекания. Компактная, настраиваемая и готовая к работе в вакууме. Узнайте прямо сейчас!
Лабораторная вакуумная наклонная вращающаяся трубчатая печь Вращающаяся трубчатая печь
Лабораторная ротационная печь KINTEK: прецизионный нагрев для прокаливания, сушки, спекания. Индивидуальные решения с вакуумом и контролируемой атмосферой. Расширьте возможности исследований прямо сейчас!
Вращающаяся трубчатая печь с вакуумным уплотнением непрерывного действия
Прецизионная ротационная трубчатая печь для непрерывной вакуумной обработки. Идеально подходит для прокаливания, спекания и термообработки. Настраиваемая температура до 1600℃.
1200℃ сплит трубчатая печь лабораторная кварцевая трубчатая печь с кварцевой трубкой
Откройте для себя печь KINTEK с разъемной трубкой 1200℃ с кварцевой трубкой для точных высокотемпературных лабораторных применений. Настраиваемая, долговечная и эффективная. Приобретайте прямо сейчас!
Лабораторная вакуумная трубчатая печь высокого давления Кварцевая трубчатая печь
Трубчатая печь высокого давления KINTEK: прецизионный нагрев до 1100°C с контролем давления 15 МПа. Идеально подходит для спекания, выращивания кристаллов и лабораторных исследований. Возможны индивидуальные решения.
Радиочастотная система PECVD Радиочастотное плазменное химическое осаждение из паровой фазы
Система KINTEK RF PECVD: Прецизионное осаждение тонких пленок для полупроводников, оптики и МЭМС. Автоматизированный низкотемпературный процесс с превосходным качеством пленки. Возможны индивидуальные решения.
1400℃ высокотемпературная лабораторная трубчатая печь с кварцевой и глиноземной трубкой
Трубчатая печь KINTEK с алюминиевой трубкой: Прецизионная высокотемпературная обработка до 2000°C для лабораторий. Идеально подходит для синтеза материалов, CVD и спекания. Доступны настраиваемые опции.
Электрическая вращающаяся печь Малая вращающаяся печь Пиролиз биомассы Завод Вращающаяся печь
Роторная печь для пиролиза биомассы KINTEK эффективно преобразует биомассу в биосахар, биомасло и сингаз. Настраиваемая для исследований или производства. Получите свое решение прямо сейчас!
Искровое плазменное спекание SPS-печь
Откройте для себя передовую печь для искрового плазменного спекания (SPS) компании KINTEK для быстрой и точной обработки материалов. Настраиваемые решения для исследований и производства.
Ультра вакуумный электрод проходной разъем фланец провод питания для высокоточных приложений
Ультра-вакуумные вводы электродов для надежных соединений сверхвысокого напряжения. Высокогерметичные, настраиваемые варианты фланцев, идеальные для полупроводниковых и космических применений.
304 316 Нержавеющая сталь Высокий вакуум шаровой запорный клапан для вакуумных систем
Вакуумные шаровые краны и запорные клапаны KINTEK из нержавеющей стали 304/316 обеспечивают высокоэффективное уплотнение для промышленных и научных применений. Изучите долговечные, устойчивые к коррозии решения.
Вакуумный горячий пресс печь машина нагретый вакуумный пресс
Вакуумная печь горячего прессования KINTEK: прецизионный нагрев и прессование для достижения высокой плотности материала. Настраиваемая температура до 2800°C, идеальная для металлов, керамики и композитов. Узнайте о расширенных возможностях прямо сейчас!
Ультра высокая вакуумная нержавеющая сталь KF ISO CF фланец трубы прямой трубы тройник крест фитинг
Сверхвысоковакуумные фланцевые трубопроводные системы из нержавеющей стали KF/ISO/CF для прецизионных применений. Настраиваемые, долговечные и герметичные. Получите квалифицированные решения прямо сейчас!