
CVD & PECVD Furnace
Машина печи трубки CVD с несколькими зонами нагрева для оборудования химического осаждения из паровой фазы
Артикул : KT-CTF14
Цена может варьироваться в зависимости от спецификации и настройки
- Макс. температура
- 1400℃
- Зона нагрева
- 2x450 мм
- Точность контроля температуры
- ±1℃

Доставка:
Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Откройте для себя передовые многозонные трубчатые CVD-печи KINTEK
Компания KINTEK использует исключительные научные разработки и собственное производство для обеспечения различных лабораторий передовыми высокотемпературными печами. Наши многозональные трубчатые печи CVD отличаются точностью, надежностью и адаптивностью, что позволяет расширить возможности ваших исследовательских и производственных процессов.
Витрина продукции: Трубчатая CVD-печь с несколькими зонами нагрева





Схема типичной структуры реакционной камеры трубчатого PECVD-оборудования 1. Вытяжное отверстие;2. Фланец хвостовой части;3. Фланец для охлаждения воды в хвостовой части;4. Уплотнительный фланец хвостовой части;5. Крепежный фланец хвостовой части;6. Электродный стержень;7. Графитовая лодка;8. Кварцевая печная трубка;9. Передний крепежный фланец;10. Передний фланец водяного охлаждения;11. Фланец переднего воздухозаборника;12. Дверца топки
Что такое многозонная трубчатая CVD-печь?
Многозонная трубчатая печь для химического осаждения из паровой фазы (CVD) - это специализированное лабораторное оборудование, предназначенное для осаждения тонких пленок на подложки посредством химических реакций газов или паров. Важнейшее преимущество "многозонной" конструкции заключается в наличии нескольких зон нагрева с независимым управлением. Это позволяет точно управлять температурным профилем внутри печи, что является решающим фактором для многих CVD-процессов, поскольку температура напрямую влияет на свойства осаждаемой пленки. Эти печи незаменимы как для передовых исследований и разработок, так и для сложных производственных задач.
Почему стоит выбрать многозональные CVD-печи KINTEK?
Многозонные трубчатые CVD-печи KINTEK разработаны для обеспечения превосходной производительности и адаптации для ваших критически важных процессов. Вот как мы расширяем возможности вашей работы:
- Непревзойденная точность температуры: Независимые зоны нагрева позволяют создавать протяженные поля постоянной температуры или точно контролируемые температурные градиенты, необходимые для равномерного осаждения и синтеза специализированных материалов.
- Усовершенствованный контроль процесса: Программируемый ПИД-регулятор температуры обеспечивает превосходную точность. В сочетании с возможностями удаленного и централизованного управления вы получаете гибкость и простоту контроля.
- Стабильная и точная подача газа: Высокоточные массовые расходомеры MFC (Mass Flow Controller) обеспечивают точную и стабильную скорость подачи газа, включая опции для предварительного смешивания исходных газов, что очень важно для стабильного качества пленки.
- Надежная высоковакуумная среда: Прочные вакуумные фланцы из нержавеющей стали с различными переходными отверстиями обеспечивают отличную герметичность, достижение и поддержание высокой степени вакуума, необходимой для чувствительных процессов CVD.
- Удобное управление и анализ данных: Некоторые модели, например KT-CTF14 Pro, оснащены 7-дюймовым сенсорным TFT-дисплеем, что упрощает настройку программ и позволяет легко анализировать исторические данные.
- Универсальность для различных областей применения: Наши печи не ограничиваются CVD; они также идеально подходят для диффузии, отжига, спекания и других видов термообработки в вакууме или контролируемой атмосфере.
- Энергоэффективная конструкция: Благодаря высококачественной изоляции из керамического волокна и двухслойной структуре наши печи минимизируют потери тепла, снижая внешнюю температуру и экономя энергию.
- Прочные и настраиваемые материалы: Трубки печей изготавливаются из различных материалов, таких как жаропрочная сталь, высокочистое кварцевое стекло и керамика, чтобы соответствовать различным химическим средам и температурным требованиям.
Принцип работы
Трубчатая печь CVD с несколькими зонами нагрева использует процесс химического осаждения из паровой фазы (CVD) для нанесения тонких пленок на подложки. Газообразные прекурсоры, обычно металлоорганические соединения и/или гидриды, вводятся в камеру печи. Эти прекурсоры вступают в химическую реакцию при контролируемых температурах, образуя на подложке твердый пленочный материал. Многочисленные зоны нагрева печи позволяют точно контролировать температуру осаждения и температурный градиент на подложке, что дает возможность осаждать высококачественные пленки с заданными свойствами, такими как толщина, состав и кристалличность. Встроенная вакуумная система позволяет удалять примеси и контролировать давление осаждения, обеспечивая оптимальные условия процесса.
Области применения
Наши трубчатые CVD-печи с несколькими зонами нагрева широко используются в различных передовых областях, включая:
- Химическое осаждение из паровой фазы (CVD): Выращивание тонких пленок для электронных устройств, полупроводников, солнечных батарей, покрытий и наноматериалов.
- Диффузия: Точное легирование полупроводников и металлов.
- Отжиг: Термическая обработка материалов для улучшения их структурных и физических свойств.
- Спекание: Склеивание порошкообразных материалов с помощью контролируемого тепла и давления с образованием твердых структур.
- Термообработка: Широкий спектр контролируемых процессов нагрева и охлаждения для исследования и модификации материалов.
- Анализ и определение элементов: Подготовка образцов для аналитических целей.
- Обработка материалов: Закалка, отжиг и отпуск небольших стальных изделий, разработка электронной керамики и других новых материалов.
Технические характеристики
Модель печи | KT-CTF14-60 |
---|---|
Макс. температура | 1400℃ |
Постоянная рабочая температура | 1300℃ |
Материал трубки печи | Высокая чистота Al2O3 трубки |
Диаметр трубки печи | 60 мм |
Зона нагрева | 2x450 мм |
Материал камеры | Алюмооксидное поликристаллическое волокно |
Нагревательный элемент | Карбид кремния |
Скорость нагрева | 0-10℃/мин |
Тепловая пара | тип S |
Регулятор температуры | Цифровой ПИД-регулятор/ПИД-регулятор с сенсорным экраном |
Точность регулирования температуры | ±1℃ |
Газовый точный блок управления | |
Расходомер | Массовый расходомер MFC |
Газовые каналы | 4 канала |
Расход |
MFC1: 0-5SCCM O2
MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0- 100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
Линейность | ±0,5% F.S. |
Повторяемость | ±0,2% F.S. |
Трубопровод и клапан | Нержавеющая сталь |
Максимальное рабочее давление | 0,45 МПа |
Контроллер расходомера | Цифровой регулятор/контроллер с сенсорным экраном |
Стандартный вакуумный блок (опция) | |
Вакуумный насос | Пластинчато-роторный вакуумный насос |
Расход насоса | 4L/S |
Вакуумный порт всасывания | KF25 |
Вакуумметр | Кремниевый вакуумметр Пирани/Резистанс |
Номинальное вакуумное давление | 10Па |
Установка высокого вакуума (опция) | |
Вакуумный насос | Пластинчато-роторный насос+молекулярный насос |
Расход насоса | 4L/S+110L/S |
Порт всасывания вакуума | KF25 |
Вакуумметр | Комбинированный вакуумметр |
Номинальное вакуумное давление | 6x10-5Pa |
Вышеуказанные спецификации и настройки могут быть изготовлены на заказ |
Стандартная комплектация
Нет. | Описание | Количество |
---|---|---|
1 | Печь | 1 |
2 | Кварцевая трубка (или другой материал по заказу) | 1 |
3 | Комплект вакуумных фланцев | 2 |
4 | Тепловой блок трубки | 2 |
5 | Крючок трубчатого термоблока | 1 |
6 | Термостойкая перчатка | 1 |
7 | Блок точного контроля газа (если заказывается) | 1 |
8 | Вакуумный блок (если заказывается) | 1 |
9 | Руководство по эксплуатации | 1 |
Глубокая индивидуализация для ваших уникальных потребностей
Компания KINTEK специализируется на предоставлении глубоко индивидуализированных решений печей для точного соответствия уникальным экспериментальным и производственным требованиям. Помимо стандартных конфигураций, мы предлагаем широкий спектр дополнительных настроек и модификаций:
- Обнаружение и мониторинг газов в пробирке (например, H2, O2).
- Независимые системы контроля и регистрации температуры в печи.
- Коммуникационный порт RS 485 для дистанционного управления и экспорта данных на ПК.
- Разнообразные возможности управления расходом подаваемого газа, включая различные массовые и поплавковые расходомеры.
- Передовые температурные контроллеры с сенсорным экраном, удобным интерфейсом и широкими возможностями программирования.
- Комплексные установки высоковакуумных насосных станций, включающие лопастные вакуумные насосы, молекулярные насосы, диффузионные насосы и т. д.
- Нестандартные размеры печей, конфигурации зон нагрева и выбор материалов.
Расскажите нам о своей задаче, и мы разработаем решение.
Сотрудничество с KINTEK для решения ваших высокотемпературных задач
Имея прочную основу в области исследований и разработок и собственного производства, компания KINTEK занимается поставкой лабораториям по всему миру передовых высокотемпературных печей, включая муфельные печи, трубчатые печи, ротационные печи, вакуумные и атмосферные печи, а также специализированные системы CVD/PECVD/MPCVD. Наше стремление к глубокой индивидуализации гарантирует, что вы получите печь, идеально соответствующую вашим конкретным экспериментальным целям.
Готовы расширить свои возможности по обработке материалов и проведению исследований? Обсудите свои требования с нашей командой экспертов.
Свяжитесь с нами для получения индивидуального решения или предложения
FAQ
Что такое трубчатая печь и как она работает?
Каковы основные области применения многозонных трубчатых печей?
Что такое вертикальная трубчатая печь?
Что такое вакуумная индукционная печь?
Каковы основные области применения вакуумных печей?
Для чего используется атмосферная печь?
Каковы основные области применения трубчатых печей?
Каковы ключевые особенности многозонных трубчатых печей?
Для каких целей используется вертикальная трубчатая печь?
Каковы основные области применения вакуумных индукционных печей?
Каковы основные характеристики вакуумной печи?
Каковы ключевые особенности атмосферных печей?
Каковы преимущества использования трубчатых печей?
Как работает многозонная трубчатая печь?
В чем преимущества вертикальных трубчатых печей?
Как работает вакуумная индукционная печь?
Как работает вакуумная печь?
Как работает атмосферная печь?
Какие типы трубчатых печей существуют?
Каковы преимущества использования многозонной трубчатой печи?
Как работает вертикальная трубчатая печь?
Каковы преимущества использования вакуумной индукционной печи?
Каковы преимущества использования вакуумной печи?
Каковы преимущества использования атмосферной печи?
Каких температурных диапазонов могут достигать трубчатые печи?
Какие типы многозонных трубчатых печей существуют?
Какие типы вертикальных трубчатых печей доступны?
Какие типы вакуумных индукционных печей существуют?
Какие типы материалов можно обрабатывать в вакуумной печи?
Какие типы газов могут использоваться в атмосферных печах?
Могут ли трубчатые печи работать в разных атмосферах?
Почему стоит выбрать вертикальную трубчатую печь, а не горизонтальную?
Почему контроль температуры важен для вакуумных индукционных печей?
В чем разница между вакуумными печами с горячими и холодными стенками?
Какие функции безопасности предусмотрены в современных атмосферных печах?
Что делает трубчатые печи KINTEK особенными?
Какие температурные диапазоны могут достигать вертикальные трубчатые печи?
Какие материалы можно обрабатывать в вакуумной индукционной печи?
Можно ли настроить вакуумные печи под конкретные задачи?
Можно ли настроить вертикальные трубчатые печи?
Какую пользу приносит вакуумная среда при обработке материалов?
4.9
out of
5
Incredible precision and control! The multi-zone heating is a game-changer for our lab.
4.8
out of
5
Fast delivery and flawless setup. This furnace exceeded our expectations!
4.7
out of
5
Worth every penny! The quality and durability are unmatched.
4.9
out of
5
Top-notch technology. The temperature uniformity is perfect for our research.
4.8
out of
5
Efficient and reliable. Our experiments have never been smoother.
4.7
out of
5
Great value for money. The build quality is impressive.
4.9
out of
5
A must-have for any serious lab. The performance is stellar.
4.8
out of
5
Quick setup and easy to use. Highly recommend this furnace!
4.7
out of
5
Durable and efficient. Perfect for high-temperature applications.
4.9
out of
5
The multi-zone feature is revolutionary. Our productivity has soared.
4.8
out of
5
Exceptional craftsmanship. This furnace is built to last.
4.7
out of
5
Reliable and precise. A fantastic investment for any lab.
4.9
out of
5
Cutting-edge technology. The temperature control is impeccable.
4.8
out of
5
Fast shipping and excellent customer service. Very satisfied!
4.7
out of
5
High-quality materials and superb performance. Highly recommend.
4.9
out of
5
The best furnace we've used. The multi-zone heating is brilliant.
4.8
out of
5
Perfect for our CVD needs. The machine is a workhorse.
Продукты
Машина печи трубки CVD с несколькими зонами нагрева для оборудования химического осаждения из паровой фазы
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары

Вращающаяся трубчатая печь с несколькими зонами нагрева
Прецизионная ротационная трубчатая печь с несколькими зонами нагрева для высокотемпературной обработки материалов, с регулируемым наклоном, вращением на 360° и настраиваемыми зонами нагрева. Идеально подходит для лабораторий.

Печь с разделенной камерой CVD трубки с вакуумной станцией CVD машины
Трубчатая печь CVD с разделенной камерой и вакуумной станцией - высокоточная лабораторная печь с температурой 1200°C для исследования современных материалов. Доступны индивидуальные решения.

Трубчатая CVD-печь KINTEK обеспечивает точный контроль температуры до 1600°C, идеально подходящий для осаждения тонких пленок. Настраивается для исследовательских и промышленных нужд.

Лабораторная кварцевая трубчатая печь RTP Heating Tubular Furnace
Трубчатая печь быстрого нагрева RTP компании KINTEK обеспечивает точный контроль температуры, быстрый нагрев до 100°C/сек и разнообразные варианты атмосферы для передовых лабораторных применений.

Слайд PECVD трубчатая печь с жидким газификатором PECVD машина
Трубчатая печь KINTEK Slide PECVD: прецизионное осаждение тонких пленок с помощью радиочастотной плазмы, быстрая термоциклическая обработка и настраиваемый контроль газа. Идеально подходит для полупроводников и солнечных батарей.

Наклонная вращающаяся машина печи трубки PECVD плазмы усиленного химического осаждения
Установка KINTEK для нанесения покрытий методом PECVD обеспечивает прецизионные тонкие пленки при низких температурах для светодиодов, солнечных батарей и МЭМС. Настраиваемые, высокопроизводительные решения.

Вакуумная печь горячего прессования машина нагретая вакуумная печь трубки прессования
Откройте для себя передовую вакуумную печь горячего прессования KINTEK для точного высокотемпературного спекания, горячего прессования и склеивания материалов. Индивидуальные решения для лабораторий.

Лабораторная вакуумная трубчатая печь высокого давления Кварцевая трубчатая печь
Трубчатая печь высокого давления KINTEK: прецизионный нагрев до 1100°C с контролем давления 15 МПа. Идеально подходит для спекания, выращивания кристаллов и лабораторных исследований. Возможны индивидуальные решения.

1700℃ Высокотемпературная лабораторная трубчатая печь с кварцевой или глиноземной трубкой
Трубчатая печь KINTEK с алюминиевой трубкой: Прецизионный нагрев до 1700°C для синтеза материалов, CVD и спекания. Компактная, настраиваемая и готовая к работе в вакууме. Узнайте прямо сейчас!

Лабораторная вакуумная наклонная вращающаяся трубчатая печь Вращающаяся трубчатая печь
Лабораторная ротационная печь KINTEK: прецизионный нагрев для прокаливания, сушки, спекания. Индивидуальные решения с вакуумом и контролируемой атмосферой. Расширьте возможности исследований прямо сейчас!

Карбид кремния SiC термические нагревательные элементы для электрической печи
Высокопроизводительные SiC-нагревательные элементы для лабораторий, обеспечивающие точность 600-1600°C, энергоэффективность и длительный срок службы. Возможны индивидуальные решения.

Вращающаяся трубчатая печь с вакуумным уплотнением непрерывного действия
Прецизионная ротационная трубчатая печь для непрерывной вакуумной обработки. Идеально подходит для прокаливания, спекания и термообработки. Настраиваемая температура до 1600℃.

Вакуумный горячий пресс печь машина для ламинирования и отопления
Вакуумный ламинационный пресс KINTEK: Прецизионное склеивание для пластин, тонких пленок и LCP. Максимальная температура 500°C, давление 20 тонн, сертификат CE. Возможны индивидуальные решения.

Небольшая вакуумная печь для термообработки и спекания вольфрамовой проволоки
Компактная вакуумная печь для спекания вольфрамовой проволоки для лабораторий. Точная, мобильная конструкция с превосходным вакуумом. Идеально подходит для исследований современных материалов. Свяжитесь с нами!

Фланец CF KF для вакуумных электродов с проходным свинцовым уплотнением для вакуумных систем
Надежный фланцевый вакуумный электродный ввод CF/KF для высокопроизводительных вакуумных систем. Обеспечивает превосходную герметичность, проводимость и долговечность. Доступны настраиваемые опции.

Вакуумный горячий пресс печь машина нагретый вакуумный пресс
Вакуумная печь горячего прессования KINTEK: прецизионный нагрев и прессование для достижения высокой плотности материала. Настраиваемая температура до 2800°C, идеальная для металлов, керамики и композитов. Узнайте о расширенных возможностях прямо сейчас!

Ультра высокая вакуумная нержавеющая сталь KF ISO CF фланец трубы прямой трубы тройник крест фитинг
Сверхвысоковакуумные фланцевые трубопроводные системы из нержавеющей стали KF/ISO/CF для прецизионных применений. Настраиваемые, долговечные и герметичные. Получите квалифицированные решения прямо сейчас!

Искровое плазменное спекание SPS-печь
Откройте для себя передовую печь для искрового плазменного спекания (SPS) компании KINTEK для быстрой и точной обработки материалов. Настраиваемые решения для исследований и производства.

Радиочастотная система PECVD Радиочастотное плазменное химическое осаждение из паровой фазы
Система KINTEK RF PECVD: Прецизионное осаждение тонких пленок для полупроводников, оптики и МЭМС. Автоматизированный низкотемпературный процесс с превосходным качеством пленки. Возможны индивидуальные решения.